才有机会吃上一口残羹冷炙台上的梁劲松切换画面,屏幕上是破晓A3X光源系统的剖面示意图。
「破晓A3X搭载的是第二代MDP—EUV光源技术,采用双脉冲CO2预电离方案,主雷射功率提升至40千瓦,转换效率达到6.2%,较上一代A220提升了将近一倍。」
闻言,阿斯麦CE0彼得微微吸了口气。
6.2%的转换效率?
意味著光源在相同功耗下能输出更强的EUV辐射,而更高的光子通量直接决定了曝光速度和产能。
这个数据,已经无限逼近了理论天花板。
「此外,Collector镜组的使用寿命从上一代的300亿脉冲,延长至550亿脉冲,可以保证整机在两年的满负荷运转期间,不需要更换主反射镜。」
梁劲松语气平稳地说道。
但这句话背后的潜台词,许多从业人员都听得出来。
Collector镜组是EUV光刻机维护成本的大头,每次更换都意味著停机、重新校准,以及数百万美元的物料费用。
延长近一倍的寿命,等于帮晶圆厂省下了一大笔运营开支。
魏家哲转头,与身旁的湾积电技术副总交换了一个眼神。
这破晓A3X买定了!
湾积电目前是除了星源科技外的最大晶圆代工厂,每年数百亿美币的业务,都离不开先进的光刻机产线。
购买,还有活路;
不买,死路一条!
格罗方德、英特尔和联电代表,也迅速理清了思绪。
虽然由于星源科技和天工科技的存在,他们的订单和利润大幅下滑,但若是不买破晓A3X,怕是要不了几年,自家就彻底没了业务。
近几年来,随著天工科技的推动,移动处理器晶片,基本都用上了7纳米工艺,次一级也得10纳米。
不买破晓A3X光刻机,就相当于主动放弃未来的市场和客户。
只是这价格,不知道星源科技会定在多少?
破晓A220的发售价是5000万美币,后来不降反升,一路涨到了8000万美币,算上各种维护成本,单台光刻机的总花费,起码也要1.1亿美币。
众人脸上的表情各异,都有著自己的小心思。
而华
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