源腔。
腔体外壁密布著高压氙气放电管与辅助磁约束线圈，透过观察窗，仍能看见内部残留的一圈圈幽蓝辉光。
「光源的Collector镜组，有没有出现镀膜剥落？」
陈延森忽然开口问道。
梁劲松立即答道：「没有！我们将第四代Collector镜的钼矽多层膜厚度优化到了68.4纳米，驻波效应抑制效果大幅提升。
上一批连续轰击测试中，累计辐照剂量达到设计寿命的1.8倍，膜层反射率衰减仅有0.7%。」
陈延森嗯了一声，继续向前。
他绕到机器侧面，在投影物镜模组的观察窗前停下。
这里是整台设备最核心、也最昂贵的部分，由十七片镜片组成的8倍降幅投影系统。
透过多层防尘玻璃与黄光，隐约能看见最下方那片直径近半米的自由曲面主镜。
「自由曲面镜的面型数据，最近一次计量结果是多少？」
陈延森问得极为细致。
一旁的林南连忙补充：「老板，六片自由曲面镜的最新面型RMS，光滑度均控制在28
到31皮米之间。」
陈延森蹲下身，凑近观察。
法兰连接处没有一丝油污，金属表面光洁度极高，边缘的He—Ne雷射对准标记清晰可见，说明对中精度没有发生丝毫漂移。
谁说华国工程师造不出高端光刻机？
只要领进门，就没有学不会的道理。
破晓A3X的研发工作，主力完全是星源科技自己的团队，极少借助外部力量。
「老梁，辛苦了！有你帮我守著星源科技，我很放心，A3X的稳定性比我预想的还要出色。」
陈延森拍了拍梁劲松的肩膀。
照这个势头，五年之内，破晓A3X的工艺制程和生产效率都不会落后。
「老板，主要还是您打下的基础好。」
梁劲松笑著回道。
表面上看，破晓A3X的性能突破极大，但底层技术框架，依旧是破晓A220的那一套。
没有陈延森先前奠定的根基，就不可能有今天的破晓A3X。
陈延森轻轻一笑，并没有多说什么。
尽管梁劲松是个湾岛人，但他做事卖力，给一年八百万美币的薪水，确实物超所值。
一小时
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